鋁合金CMP漿料
TJHG-IE-1912HPHE/AAPS-IE-1912型CMP拋光液是廣東騰駿化工科技有限公司開發(fā)的新型高純度膠體拋光液。該產(chǎn)品廣泛運(yùn)用于鋁合金中框的CMP工藝中。產(chǎn)品CMP加工中具有移除速率高、懸浮性強(qiáng)、易清洗、使用壽命長等特點(diǎn),能夠達(dá)到較好的鏡面效果和完美性;應(yīng)用在高新技術(shù)產(chǎn)品的鋁合金材料加工方面,能夠達(dá)到良好的視覺效果提高產(chǎn)品的精度。該類產(chǎn)品在實(shí)際應(yīng)用中,憑借粒徑均勻、濃度高等卓越的性能得到了客戶的充分肯定。
二、主要特點(diǎn)HPHE/AAPS-IE-1912型CMP拋光液采用粒徑適中的納米級SiO2水溶膠作為磨料,具有移除速率高、懸浮性強(qiáng)、易清洗、使用壽命長等特點(diǎn)。該產(chǎn)品在CMP過程中根據(jù)需要可以優(yōu)化不同配比,避免工件腐蝕,提高工件表面的光澤度,達(dá)到最佳的表面效果。
三、主要用途主要用于鋁合金的CMP工藝中。
四、基本參數(shù)pH值 | 比重 | 粘度(mPa.s,25℃) | 粒徑(nm) | SiO2% | 外觀 |
9.0-11.0 | 1.265-1.300 | ≤5 | 80-100 | 38-42 | 乳白色 |
建議TJHG-IE-1912型CMP漿料和去離子水的配比為1:1, 也可根據(jù)實(shí)際工藝要求改變配比。
1、CMP漿料使用過程中盡量避免直接暴露,防止污染物進(jìn)入漿料中造成劃傷。
2、冬季氣溫較低(<5℃)時(shí),漿料不可放置室外,需存放在恒溫倉庫,一旦發(fā)生凝膠將不可使用。
3、漿料使用過程中需要及時(shí)清洗管路和器具,避免漿料長期殘留在管路和容器中造成凝膠,引起晶片表面劃傷。
4. 漿料循環(huán)使用時(shí),需要在管口添加過濾裝置,以免發(fā)生凝膠而又反復(fù)應(yīng)用造成晶片表面劃傷。
七、運(yùn)輸及保存1、運(yùn)輸與存放溫度為5-40℃,25℃為最佳存放溫度,存放時(shí)應(yīng)避光,以避免漿料變質(zhì)。
2、保質(zhì)期一年,建議半年內(nèi)使用。
3、避免金屬、顆粒污染,避免強(qiáng)電解質(zhì)的接觸。
包裝規(guī)格25kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。
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